气浮自平衡光学平台是一种基于气浮技术的高精度光学平台,其原理是利用气浮承载力的特点,通过控制气体的流动和压力来实现对光学元器件的支撑和运动控制。
Dimension-labs 的DL-GJQF1系列高精度气浮隔振自平衡光学平台是维度光电自行设计开发的高精度倒摆式气动隔振平台。在设计理念、系统结构、性能各方面都达到了同类产品的国际水平,具有能把5Hz、10Hz的低频振动的幅值,分别隔离掉90%及98%的能力,适用于对隔振要求很高的环境。
气浮自平衡光学平台具有支撑稳定、隔振效果良好、运动灵活、精度高等优点,广泛应用于高精度光学系统、半导体加工设备、精密测量仪器等领域。
大理石平台所使用的石材按产地区分的话,有山东济南青石材,河北石材,芝麻黑石材,福建黑石材,大连灰石材等。国外的有非洲料,印度料,国内使用的比较少,做检测平台使用的话,一般都是使用山东的石材或者河北的石材,较高,做出来的精度也是可以达到使用标准的,如果对精度要求高的话,可以选择使用山东济南青的石材;但济南青的石材价格也会比别的石材高出一大截;由于大理石平台都是天然形成的,不是人工合成,它的产量是有限的,所以价格相对也会比较高昂。
像日常经常用到的石材就是山东济南青和章丘黑石材了,济南青是花岗石的商品名。由辉长岩制成的花岗石。黑底带微小的白点。仅产于山东省济南市历城华山镇。因其得天独厚的天然优势,产量不高,做出来的产品相对也比较。芝麻黑花岗岩又称章丘黑花岗岩,它原产于山东省章丘市等地,因此得名。山东章丘市以及长泰县枋洋镇,海南屯昌县的储量尤其丰富,相对于济南青价格低一些,较高,是在国内和国际市场上都非常受设计师和消费者青睐的花岗岩石材,其每年的的内销和出口量都非常的惊人。总而言之,对精度和质量要求较高的可以选择济南青材质的大理石平台,要求稍微低一些的可以选择章丘黑石材的平台,一般的行业也足够使用了。
大理石气浮平台的特点主要体现在以下几个方面:1. 无摩擦与无振动基本原理:大理石气浮平台基于空气轴承的基本原理,通过气体(如压缩空气)在平台与支撑面之间形成一层气体垫层,实现无摩擦和无振动的平滑移动。这种设计大大减少了传统机械运动中的摩擦和振动,提高了运动精度和稳定性。2. 高精度高精度表现:大理石气浮平台具有极高的运动精度和导向精度。其分辨率可达纳米级(如某些型号可达1纳米),重复定位精度优于0.5微米,直线度/平面度优于1微米。这种高精度特性使得大理石气浮平台在高分辨率晶圆切割、光学检测、激光加工等领域具有广泛应用。3. 稳定性与耐久性材质优势:大理石平台具有高稳定性,其材质坚硬、组织缜密,不易变形。在常温下,大理石气浮平台能保证测量精度,且长期使用下依然能保持较高的稳定性和精度。耐磨与防腐:大理石平台还具有不生锈、耐酸碱等特性,无需特殊保养,使用寿命长。其工作表面的划痕、碰伤等不影响测量精度,为长期使用提供了可靠保障。
以上信息由专业从事大理石气浮平台原理的星纳特于2024/12/16 17:01:23发布
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